Ebooks de Michel De Labachelerie en PDF

2 Livre(s)
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Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
Michel De Labachelerie
Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de...

Editeur : Hermés science
Parution : 2004-05-12
Collection : Traité EGEM
PDF sans DRM

110,78 €
Télécharger le livre : Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs
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Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs
Michel De Labachelerie
Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques " épaisses ", inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des...

Editeur : Hermés science
Parution : 2004-05-12
Collection : Traité EGEM
PDF sans DRM

110,78 €